CCZK-DLC 類金剛石鍍膜設備

搭載非平衡閉合磁控濺射、FCVA 過濾陰極電弧兩類工藝，可在低溫條件下制備含氫、無氫 DLC 涂層，膜層摩擦系數偏低，具備減磨、自潤滑理化特征。

聯系地址：江蘇省南通市通州灣示范區大豫鎮江新路16號

1.涂層摩擦系數≤0.15，自帶自潤滑效果，可減少外部潤滑介質使用

2.無氫 ta-C 涂層硬度可達 63GPa，具備良好耐摩擦表現

3.沉積溫度區間控制在 100~200℃，適配受熱易變形的基材加工

4.膜層結構緊實，可耐受酸堿環境、鹽霧腐蝕工況

1.自有 DLC 配套工藝方案，降低膜層內應力，減少開裂、膜層剝離現象

2.可移出式三維工裝轉架，工件裝取操作簡單，適配多種尺寸零部件

3.配套全自動控制系統，各類成熟工藝參數可一鍵調用

4.支持多款 DLC 膜層制備，匹配不同產品加工工況需求

型號	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
腔體尺寸	D1000mm*H1200mm	D1400mm*H1600mm
負載功率	140KW	170KW
占地面積	L5400mmW5200mmH2900mm	L6155mmW5050mmH3210mm
可鍍顏色	黑色、深灰色、啞光黑,七彩
可鍍膜層	含氫 DLC、無氫 ta-C、W-DLC、GLC、WC/C；硬度 1500HV~63GPa，摩擦系數≤0.15
真空系統	擴散泵/渦輪分子泵+羅茨泵+機械泵+維持泵（深冷系統可選）
極限真空	5*10??Pa
轉動系統	行星自轉和公轉系統 6/8/10/12/16軸
鍍膜系統	CKB?平面濺射陰極 / CKB?圓柱濺射陰極 / IET?離子蝕刻源 / 分布式 MFC 氣路 / HIPIMS 濺射
電源	脈沖直流濺射電源 / 雙極濺射電源 / 射頻濺射電源 / 脈沖偏壓電源 / HIPIMS 電源 / IET?蝕刻源電源
操作系統	全自動（IPC/PLC）+遠程操作+報警系統（支持OPC-UA Link協議）
備注	具體配置大小均可根據客戶的鍍膜產品要求進行設計