CCZK-SF磁控濺射鍍膜設備
采用平面、旋轉磁控濺射工藝，可制備結構均勻的金屬及化合物膜層，適配多種基材與不同鍍膜加工工況
聯系地址：江蘇省南通市通州灣示范區大豫鎮江新路16號
1.膜層排布均勻緊實，膜層與基材結合狀態穩定
2.工藝參數可控，批次加工效果一致性較好
3.支持低溫鍍膜工藝，降低熱敏基材受熱形變概率
4.靶材消耗損耗可控，長期運維支出適中
1.支持平面靶、圓柱旋轉靶兩種配置，適配多款產品鍍膜生產
2.搭載全自動 PLC 控制系統，人機操作流程簡易
3.支持單層、多層復合膜層制備，膜層雜質含量低
4.工裝架可適配常規尺寸、異形零部件同步鍍膜
| 型號 | CCZK-700-SF | CCZK-1012-SF | CCZK-1416-SF | CCZK-1618-SF | CCZK-1820-SF |
| 腔體尺寸 | D700mm*H700mm | D1000mm*H1200mm | D1400mm*H1600mm | D1600mm*H1800mm | D1800mm*H2000mm |
| 負載功率 | 58KW | 75KW | 175KW | 230KW | 255KW |
| 占地面積 | L4200mm*W4200mm*H2300mm | L5400mm*W5200mm*H2900mm | L6155mm*W5050mm*H3210mm | L6500mm*W4750mm*H3200mm | L7800mm*W5200mm*H2600mm |
| 可鍍顏色 | 金色、銀色、槍黑、玫瑰金、藍色、灰色、透明色等 | ||||
| 可鍍膜層 | 純金屬膜、合金膜、化合物膜；硬度500~3000HV，膜層致密耐磨 | ||||
| 真空系統 | 擴散泵/渦輪分子泵+羅茨泵+機械泵+維持泵（深冷系統可選） | ||||
| 極限真空 | 5*10??Pa | ||||
| 轉動系統 | 行星自轉和公轉系統 6/8/10/12/16軸 | ||||
| 鍍膜系統 | CKB?平面濺射陰極 / CKB?圓柱濺射陰極 / IET?離子蝕刻源/分布式 MFC 氣路 / HIPIMS 濺射 | ||||
| 電源 | 脈沖直流濺射電源 / 雙極濺射電源 / 射頻濺射電源 / 脈沖偏壓電源 / HIPIMS 電源 / IET?蝕刻源電源 | ||||
| 操作系統 | 全自動（IPC/PLC）+遠程操作+報警系統 （支持OPC-UA Link協議） | ||||
| 備注 | 具體配置大小均可根據客戶的鍍膜產品要求進行設計 | ||||
適用于五金裝飾零部件、家電玻璃、汽車配件、3C產品、光學鏡片、玻璃美妝包裝、半導體元器件鍍膜加工，可制備純金屬膜、合金膜、化合物膜，呈現金色、銀色、槍黑、玫瑰金、藍色、灰色、透明色等多種外觀效果。膜層硬度區間 500~3000HV，膜層結構緊實，具備耐摩擦理化特性。
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