真空系統(tǒng)是真空電鍍機(jī)的核心組成部分，操作人員需要熟悉各真空泵的啟動(dòng)順序和配合關(guān)系，以縮短抽氣時(shí)間并保護(hù)設(shè)備。

日常開機(jī)時(shí)，首先啟動(dòng)冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。冷卻水對(duì)擴(kuò)散泵、分子泵以及鍍膜源的冷卻至關(guān)重要，水壓和水流量應(yīng)保持在規(guī)定范圍內(nèi)。檢查水路有無泄漏，各進(jìn)水閥處于開啟狀態(tài)。然后啟動(dòng)機(jī)械泵，打開粗抽閥，將真空室從大氣壓抽至低真空。機(jī)械泵工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)和噪音，應(yīng)將其放置在減震基座上，排氣管應(yīng)通向室外。

當(dāng)真空度達(dá)到約5帕?xí)r，可以開啟羅茨泵。羅茨泵不能在常壓下啟動(dòng)，否則會(huì)因過載而發(fā)熱甚至損壞。羅茨泵啟動(dòng)后，抽氣速度顯著提高，真空度快速下降。此時(shí)需要觀察羅茨泵的溫升，若溫度過高應(yīng)檢查前級(jí)管路是否通暢。對(duì)于配備分子泵的系統(tǒng)，還需要在羅茨泵工作一段時(shí)間后，待真空度進(jìn)入帕級(jí)范圍再啟動(dòng)分子泵。分子泵屬于高速旋轉(zhuǎn)設(shè)備，啟動(dòng)過程中需傾聽聲音，確認(rèn)無異常振動(dòng)。

擴(kuò)散泵的啟動(dòng)需要更長的預(yù)熱時(shí)間。擴(kuò)散泵油加熱至工作溫度約需30分鐘，期間應(yīng)保持前級(jí)機(jī)械泵持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。操作人員可通過觀察擴(kuò)散泵頂部的溫度計(jì)或熱電偶讀數(shù)來判斷是否達(dá)到工作狀態(tài)。在擴(kuò)散泵預(yù)熱期間，可以關(guān)閉粗抽閥，只通過旁通管路維持低真空。當(dāng)擴(kuò)散泵準(zhǔn)備就緒后，打開高真空閥，真空度會(huì)迅速進(jìn)入10^-3帕甚至更高。

在鍍膜過程中，工藝氣體通過質(zhì)量流量計(jì)通入，真空度會(huì)有所回升。操作人員需要密切監(jiān)視真空計(jì)讀數(shù)，根據(jù)工藝要求調(diào)節(jié)氣體流量。對(duì)于反應(yīng)鍍膜，反應(yīng)氣體與工作氣體的比例需要精確控制，真空度的波動(dòng)會(huì)直接影響膜層成分和顏色。當(dāng)鍍膜結(jié)束后，首先關(guān)閉工藝氣體，關(guān)閉高真空閥，然后關(guān)閉擴(kuò)散泵或分子泵的加熱，讓它們自然冷卻。在擴(kuò)散泵未冷卻至80度以下時(shí)，不得關(guān)閉機(jī)械泵，防止泵油倒流污染真空室。

停機(jī)的順序與開機(jī)相反。關(guān)閉高真空閥后，機(jī)械泵繼續(xù)運(yùn)行一段時(shí)間，待擴(kuò)散泵降溫，最后關(guān)閉機(jī)械泵和冷卻水。在整個(gè)抽氣和放氣過程中，操作人員應(yīng)避免頻繁開啟真空室門，以防止水汽和灰塵進(jìn)入。每次打開真空室后，應(yīng)對(duì)密封圈進(jìn)行檢查和清潔，涂抹少量真空脂，以保持良好的密封性能。

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